電感耦合等離子體質譜（ICP-MS）將ICP的高溫等離子體電離特性與質譜儀的靈敏度和快速掃描優勢相結合，形成了一種具有獨特界面技術的新的元素分析技術。與電感耦合等離子體光譜法（ICP-AES）、原子吸收光譜法（AAS）和原子熒光光譜法（AFS）等無機元素分析技術相比，ICP-MS具有檢測限低、動態線性范圍寬、干擾小、精度高、速度快等特點，可提供同一同位素的準確信息。它的性能大大提高了。ICP-MS還可以與其他技術相結合，如高效液相色譜（HPLC）、氣相色譜（GC）和激光燒蝕取樣系統（LA），以分析元素的形態和分布特征。 

ICP-MS這項技術從最初應用于地質科學研究，迅速發展到在材料、化學工業、生物、醫藥、冶金、石油、環境等領域的廣泛應用。此外，高效液相色譜儀在分析方面也有被廣泛應用。 
ICP-MS將大部分霧化原子轉化為離子，然后根據質荷比進行分離，最后計算出各種離子的數量。高溫等離子體電離大多數樣品中元素的電子，形成單價正離子；通過ICP-MS接口將等離子體中的離子有效轉移到質譜儀。 

最常用的樣品注入方法是使用同心或直角氣動霧化器產生氣溶膠，并將其噴射到載氣輸送帶下方的火焰炬中。樣品注射體積約為1mL/min，由蠕動泵送至霧化器。在負載線圈上方約10mm處，焊炬溫度約為8000K。 
由ICP火炬、接口裝置和質譜儀組成；如果工作條件良好，則必須設置每個部件的工作條件。 

ICP產生的離子通過接口裝置進入質譜儀。接口裝置的主要參數是采樣深度，即采樣錐孔與火炬之間的距離。應調整兩個錐形孔的距離和對齊方式。同時，應調整透鏡電壓以使離子具有良好的聚焦。 

事實上，在每次分析之前，有必要用多元標準溶液測試儀器的整體性能。如果儀器的靈敏度能夠達到預期水平，則不再需要調整儀器。